| 标题 |
Near-common-optical-path two-axis surface encoder with a three-layer gratings interference method |
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| DOI |
10.1364/oe.552038
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| 其它 |
期刊:Optics Express 作者:Yifan Hong; Ryo Sato; Zhiyang Zhang; Hiraku Matsukuma; Eberhard Manske; et al 出版日期:2025-04-24 |
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(2025-6-4)