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标题
Configuration design for the variable pupil shaping unit of a photolithography machine
网址
https://doi.org/10.1364/ao.385352
DOI
10.1364/ao.385352 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Youbao Zhang; Xiaozhe Ma; Fang Zhang; Huijie Huang
出版日期：2020-03-17
求助人
ghpi 在 2026-10-16 15:47:39 发布自四川，悬赏 10 积分
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