Solvent Cleaning to Clean Die from Fluorine After BOSCH Plasma Dicing

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标题	Solvent Cleaning to Clean Die from Fluorine After BOSCH Plasma Dicing 博世等离子切割后溶剂清洗以清除模具中的氟相关领域晶片切割氟等离子清洗蚀刻（微加工）氟碳化合物溶剂等离子体刻蚀图层（电子）材料科学硅铝等离子体模具（集成电路）胶粘剂化学工程复合材料纳米技术化学冶金有机化学工程类量子力学物理
网址	https://doi.org/10.1109/iemt55343.2022.9969476
DOI	10.1109/iemt55343.2022.9969476 doi
其它	期刊：作者：Mohd Akbar Md Sum; JeongPyo Hong 出版日期：2022-10-19
求助人	AUWORK 在 2025-05-29 16:15:01 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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