A piezo-actuated nanopositioning stage based on spatial parasitic motion principle

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标题	A piezo-actuated nanopositioning stage based on spatial parasitic motion principle
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442472...
DOI	10.1016/j.sna.2024.115124 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Xiaolu Zhao; Fujun Wang; Beichao Shi; Yanling Tian; Dawei Zhang 出版日期：2024-02-07
求助人	闻山在 2026-05-04 18:50:02 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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