New chamber walls conditioning and cleaning strategies to improve the stability of plasma processes - 科研通

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标题	New chamber walls conditioning and cleaning strategies to improve the stability of plasma processes
网址	https://doi.org/10.1088/0963-0252/14/3/025
DOI	10.1088/0963-0252/14/3/025 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：G Cunge; B Pelissier; O Joubert; R Ramos; C Maurice 出版日期：2005-08-06
求助人	reiiia 在 2026-03-26 20:42:37 发布自上海，悬赏 10 积分
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