Thermal reflow of plasma-polymerized fluorocarbon for nanochannels and particle encapsulation

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标题	Thermal reflow of plasma-polymerized fluorocarbon for nanochannels and particle encapsulation
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2022.111839
DOI	10.1016/j.mee.2022.111839 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Bingdong Chang 出版日期：2022
求助人	doremi 在 2026-04-01 15:19:10 发布自福建，悬赏 10 积分
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