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标题
Atomic and Close-to-Atomic Scale Manufacturing: Status and Challenges
原子和接近原子规模的制造:现状与挑战
相关领域
原子单位 平版印刷术 纳米技术 吞吐量 极端紫外线 抵抗 材料科学 极紫外光刻 蚀刻(微加工) 原子力显微镜 纳米光刻 光子学 计算机科学 光电子学 激光器 物理 制作 光学 图层(电子) 医学 电信 替代医学 量子力学 病理 无线
网址
DOI
10.1109/icac57885.2023.10275165 doi
其它 期刊:
作者:H.Y. Hafeez; Wenkun Xie; Xichun Luo
出版日期:2023-08-30
求助人
thremo 在 2024-03-14 08:44:47 发布自北京,悬赏 10 积分
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