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Computational approach for plasma process optimization combined with deep learning model
结合深度学习模型的等离子体工艺优化计算方法
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期刊:Journal of Physics D 作者:Jung-Min Ko; Jinkyu Bae; Minho Park; Yeon Hwa Jo; Hyunjae Lee; et al 出版日期:2023-05-15 |
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