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标题
Recent advances in polymeric chemically amplified positive resists: Materials and design strategies
相关领域
纳米技术 聚合物 共聚物 单体 材料科学 光刻 平版印刷术 组分(热力学) 化学 抵抗 设计要素和原则 奥尼姆 计算机科学 合理设计 设计策略
网址
DOI
10.1002/smo2.70077 doi
其它 期刊:Smart Molecules
作者:Litao Zhou; Haoyuan Li; Jianhua Zhang; Hanshen Xin
出版日期:2026-07-28
求助人
莫妮卡 在 2026-08-09 12:20:00 发布自河南,悬赏 10 积分
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