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 Multi-physical field coupling polishing of diamond for atomic-scale damage-free surface 相关领域
抛光
钻石
材料科学
化学机械平面化
表面粗糙度
溅射
表面光洁度
联轴节（管道）
离子束
机械工程
领域（数学）
冶金
梁（结构）
使用寿命
工程物理
复合材料
直接耦合
纳米技术
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期刊：International Journal of Extreme Manufacturing 作者：Song Yuan; Chi Fai Cheung; Fengzhou Fang; Han Huang; Chunjin Wang 出版日期：2026-01-07 |
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