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标题
CNT EUV pellicle tunability and performance in a scanner-like environment
CNT EUV表膜在类似扫描仪环境中的可调谐性和性能
相关领域
极紫外光刻 材料科学 碳纳米管 平版印刷术 纳米技术 扫描仪 极端紫外线 涂层 光电子学 光学 激光器 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.2584519
DOI
10.1117/12.2584519 doi
其它 期刊：
作者：Marina Y. Timmermans; Ivan Pollentier; M. Korytov; Thomas Nuytten; Stefanie Sergeant; et al
出版日期：2021-02-19
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QRE 在 2025-12-31 16:43:39 发布自美国，悬赏 20 积分
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