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 The effect of the Ar/N2 gas ratio on the structure and properties of Ta-Si-N coatings produced by magnetron sputtering of TaSi2 target 相关领域
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：А. Д. Сытченко; Н. С. Козлова; Eugenia V. Zabelina; П.А. Логинов; Е. А. Левашов; et al 出版日期：2023-01-13 |
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