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Annealing effect on SiNx/SiO2 superlattice with ultrathin sublayer fabricated using plasma-enhanced atomic layer deposition
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网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.04.204
DOI
10.1016/j.ceramint.2022.04.204 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Hong-Ping Ma; Lin Gu; Yi Shen; Wei Huang; Yuhang Liu; et al
出版日期：2022-04-21
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zhangxp 在 2026-01-10 20:18:28 发布自河南，悬赏 10 积分
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