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标题
Integrated self-aligned quadruple patterning flow for sub-7nm application
用于亚7nm应用的集成自对准四重图案化流程
相关领域
可制造性设计 多重图案 极紫外光刻 平版印刷术 临界尺寸 收缩率 计算机科学 浸没式光刻 还原（数学） 节点（物理） 表面粗糙度 材料科学 电子工程 机械工程 光电子学 纳米技术 抵抗 光学 工程类 声学 物理 几何学 图层（电子） 复合材料 机器学习 数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2515076
DOI
10.1117/12.2515076 doi
其它 期刊：
作者：Eric Liu; Sophie Thibaut; Akiteru Ko; Peter Biolsi
出版日期：2019-03-29
求助人
waye131 在 2025-03-06 11:03:22 发布自上海，悬赏 20 积分
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