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 Research on a capacitive MEMS pressure sensor based on through glass via 基于玻璃通孔的电容式MEMS压力传感器的研究
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期刊：Microwave and Optical Technology Letters 作者：Yingchun Fu; Fan He; Lu Jia; Guowei Han; Chaowei Si; et al 出版日期：2023-10-07 |
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