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标题
(Invited) Novel Surface Reactions in Low-Temperature Regime for High-Aspect-Ratio Dielectric Etching
（邀请）用于高纵横比电介质蚀刻的低温区新型表面反应
相关领域
纵横比（航空） 电介质 材料科学 蚀刻（微加工） 曲面（拓扑） 纳米技术 工程物理 复合材料 光电子学 几何学 物理 数学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/ma2023-02291466mtgabs
DOI
10.1149/ma2023-02291466mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Masanobu Honda; Ryutaro Suda; Koki Tanaka; Masahiko Yokoi; Maju Tomura; et al
出版日期：2023-12-22
求助人
Li 在 2025-06-17 17:52:53 发布自江苏，悬赏 10 积分
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