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[高分]
 Etching Surface and Etching Dimension Control for IGZO TFT Fabrication in 3D Memory Device 三维存储器件中IGZO TFT制作的刻蚀表面和刻蚀尺寸控制
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期刊： 作者：Z. K. Hei; Xu Yang; Yang Liu; Zhonghua Jin; Tuo Xin; et al 出版日期：2025-03-24 |
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