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 Design and control of an x-y-θz parallel piezoelectric nanopositioning stage with a large moving platform 大型移动平台X-Y-θ z并联压电纳米定位平台的设计与控制
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期刊：Journal of Intelligent Material Systems and Structures 作者：Bowen Wang; Yuguo Cui; Yiling Yang; Qifang Xie; Pan Chen 出版日期：2022-07-01 |
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