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标题
Design and Fabrication of Quartz MEMS-based Monolithic Vibrating Beam Accelerometer
基于石英MEMS的单片振动梁加速度计的设计与制作
相关领域
加速度计 微电子机械系统 制作 石英 材料科学 梁(结构) 光电子学 工程类 计算机科学 结构工程 复合材料 医学 替代医学 病理 操作系统
网址
DOI
10.18494/sam.2021.3004 doi
其它 期刊:Sensors and Materials
作者:Jinxing Liang; Qi Tang; Shengshou Lin
出版日期:2021-04-05
求助人
hewuan 在 2025-10-30 03:41:33 发布自四川,悬赏 10 积分
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