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Design and Fabrication of Quartz MEMS-based Monolithic Vibrating Beam Accelerometer 基于石英MEMS的单片振动梁加速度计的设计与制作
相关领域
加速度计
微电子机械系统
制作
石英
材料科学
梁(结构)
光电子学
工程类
计算机科学
结构工程
复合材料
医学
替代医学
病理
操作系统
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| 其它 |
期刊:Sensors and Materials 作者:Jinxing Liang; Qi Tang; Shengshou Lin 出版日期:2021-04-05 |
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