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 nc-SiC by PECVD for High-Temperature Passivating Contacts 用于高温钝化触点的PECVD NC-SiC
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
光电子学
钝化
碳化硅
硅
纳米技术
图层（电子）
复合材料
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| 其它 |
期刊：IEEE Journal of Photovoltaics 作者：Ezgi Genç; Julien Hurni; Arnold Müller; Christof Vockenhuber; Takashi Koida; et al 出版日期：2025-01-01 |
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