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等离子体增强化学气相沉积 材料科学 光电子学 钝化 碳化硅 硅 纳米技术 图层（电子） 复合材料
作者
Ezgi Genç,Julien Hurni,Arnold Müller,Christof Vockenhuber,Takashi Koida,Audrey Morisset,Christophe Ballif,Franz‐Josef Haug
出处
期刊：IEEE Journal of Photovoltaics [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-9
标识
DOI：10.1109/jphotov.2025.3577294
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