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 Alumina layers deposited by atomic layer deposition with different precursors: Surface photovoltage measurements 通过原子层沉积与不同前体沉积的氧化铝层：表面光电压测量
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期刊：Microelectronics Reliability 作者：Vl. Kolkovsky; Pauline Dill 出版日期：2023-10-01 |
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louxinliang
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