Investigation of Low Temperature SiP Epitaxy on 300 mm Si Substrate

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标题	Investigation of Low Temperature SiP Epitaxy on 300 mm Si Substrate 300 mm Si衬底低温SiP外延的研究相关领域外延电阻率和电导率材料科学兴奋剂基质（水族馆）掺杂剂图层（电子）光电子学硅化学气相沉积分析化学（期刊）复合材料电气工程化学地质学工程类海洋学色谱法
网址	https://doi.org/10.1149/ma2020-02241734mtgabs
DOI	10.1149/ma2020-02241734mtgabs doi
其它	期刊：Meeting abstracts 作者：Rami Khazaka; Lucas Petersen Barbosa Lima; Erik Rosseel; Andriy Hikavyy; Vijay D Costa; et al 出版日期：2020-11-23
求助人	AARON 在 2025-08-31 21:52:50 发布自广东，悬赏 10 积分
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