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 Impact of chemical bonding difference of ALD Mo on SiO2 and Al2O3 on the effective work function of the two gate stacks 相关领域
X射线光电子能谱
原子层沉积
工作职能
退火（玻璃）
材料科学
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分析化学（期刊）
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ekaterina Zoubenko; Sara Iacopetti; Kamira Weinfeld; Yaron Kauffmann; Patrick Van Cleemput; et al 出版日期：2021-05-11 |
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