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 CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review CMOS集成氮化铝MEMS技术研究进展
相关领域
材料科学
微电子机械系统
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氮化物
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期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Rui M. R. Pinto; Ved Gund; Rosana A. Dias; K.K. Nagaraja; K. B. Vinayakumar 出版日期：2022-05-13 |
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