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标题
Charge trapping studies on ultrathin ZrO2 and HfO2 high-k dielectrics grown by room temperature ultraviolet ozone oxidation
室温紫外臭氧氧化生长超薄ZrO2和HfO2高k介质的电荷俘获研究
相关领域
俘获 电介质 电极 臭氧 沉积（地质） 材料科学 紫外线 高-κ电介质 化学气相沉积 分析化学（期刊） 磁滞 电荷（物理） 光电子学 化学 凝聚态物理 物理化学 环境化学 量子力学 生物 有机化学 沉积物 古生物学 生态学 物理
网址
https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/84/3/389/18585323/3...
DOI
10.1063/1.1636532 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Shriram Ramanathan; Paul C. McIntyre; Supratik Guha; Evgeni Gusev
出版日期：2004-01-14
求助人
Lijia_YAO 在 2025-12-16 14:15:32 发布自安徽，悬赏 10 积分
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