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Spectral tailoring of nanoscale EUV and soft x-ray multilayer optics
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极紫外光刻 极端紫外线 光学 材料科学 光电子学 X射线光学 衍射光栅 光谱分辨率 衍射 波长 激光器 物理 谱线 X射线 天文
网址
https://doi.org/10.1063/1.4978290
AI链接 scitation.org utwente.nldoi.org
DOI
10.1063/1.4978290 doi
其它 期刊：Applied Physics Reviews
作者：Qiushi Huang; V. V. Medvedev; Robbert Wilhelmus Elisabeth van de Kruijs; Andrey Yakshin; Eric Louis; et al
出版日期：2017-03-01
求助人
乐正三问 在 2025-11-18 10:23:47 发布自上海，悬赏 10 积分
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