Characterization of small-size oxygen precipitates in CZ-silicon by synchrotron Bragg tail analysis

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标题	Characterization of small-size oxygen precipitates in CZ-silicon by synchrotron Bragg tail analysis
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2026.110966
DOI	10.1016/j.mssp.2026.110966 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Tomoyuki Horikawa; Tetsuya Tohei; Akira Sakai; Yoshiyuki Tsusaka; Junji Matsui 出版日期：2026-11-01
求助人	lgh 在 2026-09-20 13:29:07 发布自陕西，悬赏 10 积分
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