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  Aluminum Nitride Thin Film Based Reconfigurable Integrated Photonic Devices 基于氮化铝薄膜的可重构集成光子器件
相关领域
材料科学
光子学
光电子学
微电子机械系统
谐振器
氮化物
压电
光子集成电路
薄膜
氮化硅
电子线路
电子工程
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硅
电气工程
图层（电子）
工程类
复合材料
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| 其它 |
期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：Zhifang Luo; Aoxue Zhang; Weixiong Huang; Shuai Shao; Yushuai Liu; et al 出版日期：2023-01-01 |
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