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Optical Interferometric MEMS Accelerometers 光学干涉MEMS加速度计
相关领域
加速度计
干涉测量
微电子机械系统
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期刊:Laser & Photonics Reviews 作者:Minghui Zhao; Yonghong Qi; Hailong Wang; Zongxiang Xie; Bo Li; et al 出版日期:2023-12-02 |
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