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标题
Enabling curvilinear masks: novel mask qualification methodology and experimental verification
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3072276
DOI
10.1117/12.3072276 doi
其它 期刊：Photomask Technology 2025
作者：Darko Trivković; Il-Yong Jang; Stefan Meusemann; Xiaolong Wang; Xuelong Shi; et al
出版日期：2025-11-06
求助人
tester_gater 在 2026-11-04 11:19:21 发布自上海，悬赏 20 积分
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