Optimization of surface filtration to enhance wafer uniformity by removing large particle in ceria slurry

已完结

文献求助详情

标题	Optimization of surface filtration to enhance wafer uniformity by removing large particle in ceria slurry 通过去除二氧化铈浆料中的大颗粒来提高晶片均匀性的表面过滤优化相关领域材料科学泥浆过滤（数学）薄脆饼粒子（生态学）曲面（拓扑）粒径工艺工程化学工程复合材料纳米技术统计海洋学数学几何学地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108740
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108740 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Seungjun Oh; Geumji Back; Sang-Hyeon Park; HunWook Lee; Heedo Seo; et al 出版日期：2024-08-07
求助人	hi111 在 2024-11-29 10:01:31 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 专一的纸飞机发布了新的文献求助10

刚刚; 火星上的绿草完成签到，获得积分10

刚刚; 赵河那完成签到，获得积分10

1秒前; keyana25完成签到，获得积分10

1秒前; yangy115完成签到，获得积分0

1秒前; 虎虎生威完成签到，获得积分10

1秒前; xliiii完成签到，获得积分10

1秒前; double上传了应助文件

2秒前; LeiDY发布了新的文献求助10

2秒前; 悦耳听芹发布了新的文献求助10

2秒前; 沉静小蚂蚁完成签到，获得积分10

2秒前; Hello上传了应助文件

3秒前; CC完成签到，获得积分10

3秒前; 大方的凌波完成签到，获得积分10

3秒前; 激昂的秀发完成签到，获得积分10

3秒前; YOLO完成签到，获得积分10

3秒前; 昌昌完成签到，获得积分10

4秒前; 牛牛123完成签到，获得积分10

4秒前; james完成签到，获得积分10

4秒前; Owen上传了应助文件

5秒前; zero完成签到，获得积分10

5秒前; 体贴薯片完成签到，获得积分10

5秒前; cdercder上传了应助文件

6秒前; yu完成签到，获得积分10

6秒前; 飞快的雅青完成签到，获得积分10

7秒前; 小马想毕业完成签到，获得积分10

7秒前; 所所上传了应助文件

7秒前; 酷炫的乐驹完成签到，获得积分10

8秒前; 丛玉林关闭了丛玉林的文献求助

8秒前; ZeroL完成签到，获得积分0

8秒前; 忐忑的邑发布了新的文献求助10

9秒前; Tomma完成签到，获得积分10

9秒前; 糖糖糖唐完成签到，获得积分10

9秒前; 敏感的鸿煊发布了新的文献求助10

10秒前; 香蕉静芙完成签到，获得积分10

10秒前; 科研通AI2S的应助被112我的采纳，获得10

10秒前; 傻瓜发布了新的文献求助10

10秒前; 小居很哇塞发布了新的文献求助10

11秒前; 科目三上传了应助文件

12秒前; Olsters完成签到，获得积分10

12秒前