Combined effects of the deposition temperature and metal electrodes on ferroelectric properties of atomic-layer-deposited Hf0.5Zr0.5O2 films

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标题	Combined effects of the deposition temperature and metal electrodes on ferroelectric properties of atomic-layer-deposited Hf0.5Zr0.5O2 films 沉积温度和金属电极对原子层沉积Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜铁电性能的综合影响相关领域正交晶系电极单斜晶系四方晶系材料科学原子层沉积铁电性退火（玻璃）分析化学（期刊）锡金属图层（电子）结晶学化学复合材料晶体结构电介质冶金光电子学物理化学色谱法
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1088/1361-6463/acaf0a doi
求助人	kawhi 在 2024-02-07 18:04:23 发布自广东，悬赏 10 积分
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