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 High-performance Al-Zn-O Thin-Film Transistors Sputtering at Different Power 不同功率溅射的高性能Al-Zn-O薄膜晶体管
相关领域
薄膜晶体管
溅射
晶体管
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| DOI |
10.1109/ted.2019.2942950
doi
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Xiaobin Zhou; Dedong Han; Junchen Dong; Huijin Li; Wen Yu; et al 出版日期：2019-10-01 |
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