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Current collapse suppression in AlGaN/GaN HEMTs using dual-layer SiNx stressor passivation
双层SiNx应力源钝化抑制AlGaN/GaN HEMTs电流崩塌
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Chenkai Deng; Wei-Chih Cheng; XiGuang Chen; Kangyao Wen; Minghao He; et al 出版日期:2023-06-05 |
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