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Three-dimensional laser micromachining system with integrated sub-100 nm resolution in-situ measurement
集成亚100nm分辨率原位测量的三维激光微加工系统
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期刊:Optics express 作者:Shihan Xu; Yinhui Yu; Zhen‐Nan Tian; Lei Wang; Aiwu Li; et al 出版日期:2024-02-21 |
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