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Characteristics of (Ba, Sr)TiO3 Capacitors with Textured Ru Bottom Electrode
织构Ru底电极(Ba,Sr)TiO3电容器的特性
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期刊:Japanese journal of applied physics 作者:T. Aoyama; S. Yamazaki; Keitaro Imai 出版日期:2000-11-01 |
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