| 标题 |
 Spatial and frequency dependence of plasma currents in a 300 mm capacitively coupled plasma reactor |
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| DOI | |
| 其它 |
期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Paul A Miller; Edward V Barnat; Gregory A Hebner; Alex M Paterson; John P Holland 出版日期：2006-10-24 |
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