Effects of layer boundaries on x-ray reflectivity in thermally treated ternary gate dielectrics grown by atomic layer deposition

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标题	Effects of layer boundaries on x-ray reflectivity in thermally treated ternary gate dielectrics grown by atomic layer deposition
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0004737
DOI	10.1116/6.0004737 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Jong-Hong Lu; Yen-Ho Chu; Liang-Pin Chou; Chung-Lin Huang; Wen-Lian Lee; et al 出版日期：2025-09-25
求助人	博弈春秋在 2026-07-01 21:16:44 发布自北京，悬赏 10 积分
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