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标题
Low-resistance ohmic contacts on p-type homoepitaxial 3C-SiC by Al ion implantation with different metal structures
相关领域
材料科学 欧姆接触 离子注入 光电子学 金属 冶金 离子 纳米技术 导电体
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2025.110373 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Zheng Hu; Yidan Tang; Huaping Song; Xinhua Wang; Junwei Yang; et al
出版日期:2025-12-25
求助人
haxidou 在 2026-06-30 15:13:55 发布自北京,悬赏 10 积分
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