Scaling of piezoelectric in-plane NEMS: Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls

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标题	Scaling of piezoelectric in-plane NEMS: Towards nanoscale integration of AlN-based transducer on vertical sidewalls
网址	https://doi.org/10.1016/j.matdes.2024.113116
DOI	10.1016/j.matdes.2024.113116 doi
其它	期刊：Materials & Design 作者：Artem Gabrelian; Ville Miikkulainen; Glenn Ross; Mervi Paulasto‐Kröckel 出版日期：2024-06-24
求助人	starry 在 2026-07-29 00:55:57 发布自河南，悬赏 10 积分
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