Theoretical Limit of TiSi2 Contact Resistance : *Note: Sub-titles are not captured in Xplore and should not be used

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标题	Theoretical Limit of TiSi2 Contact Resistance : *Note: Sub-titles are not captured in Xplore and should not be used
网址	http://dx.doi.org/10.23919/sispad57422.2023.10319490
DOI	10.23919/sispad57422.2023.10319490 doi
其它	期刊：2023 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) 作者：M. Y. Jeong; M. A. Pourghaderi; K. Vuttivorakulchai; S. Song; Y.-S. Kim; et al 出版日期：2023-09-27
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