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 Influence of substrate bias, deposition temperature and post-deposition annealing on the structure and properties of multi-principal-component (AlCrMoSiTi)N coatings |
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Hui-Wen Chang; Ping-Kang Huang; Jien-Wei Yeh; Andrew Davison; Chun-Huei Tsau; Chih-Chao Yang 出版日期：2007-12-28 |
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