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Low-damage p -GaN surface for Ohmic contact after passivation layer removal by atomic layer etching 相关领域
欧姆接触
材料科学
蚀刻(微加工)
钝化
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干法蚀刻
光电子学
化学计量学
表层
金属
各向同性腐蚀
宽禁带半导体
曲面(拓扑)
带材弯曲
纳米技术
原子层沉积
反应离子刻蚀
复合材料
冶金
弯曲
过程(计算)
电接点
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Haodong Wang; Hongwei Gao; Yaozong Zhong; Xinchen Ge; Xiaolu Guo; et al 出版日期:2026-03-02 |
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