| 标题 |
 A Comparative Study of the Mechanical and Tribological Properties of Thin Al2O3Coatings Fabricated by Atomic Layer Deposition and Radio Frequency Sputtering |
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期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science 作者：Maria Luisa Grilli; D. Valerini; A. Rizzo; Mehmet Yılmaz; Chen Song; et al 出版日期：2021-10-17 |
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