Deep ensemble neural network-driven modeling of etching process in advanced integrated circuit manufacturing - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	Deep ensemble neural network-driven modeling of etching process in advanced integrated circuit manufacturing
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00055...
DOI	10.1116/6.0005540 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Ho-dal Song; Yuxuan Zhai; Zi-Yi Hu; Da-Shan Shang; Jun-Jie Li; et al 出版日期：2026-07-27
求助人	2q 在 2026-10-13 17:48:50 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 桐桐的应助被失眠的寄云采纳，获得10

刚刚; 充电宝的应助被carbonhan采纳，获得10

2秒前; jiujjj完成签到，获得积分10

2秒前; 科研通AI6.2的应助被111采纳，获得10

2秒前; 温暖的醉蝶发布了新的文献求助10

2秒前; 科研通AI6.4的应助被111采纳，获得10

2秒前; 地学韦丰吉司长发布了新的文献求助40

2秒前; 科研通AI6.2的应助被柒鹿采纳，获得10

3秒前; 干净的琦的应助被小屁孩采纳，获得10

3秒前; 赘婿上传了应助文件

3秒前; RWcreator发布了新的文献求助10

3秒前; v0id的应助被含糊的吐司采纳，获得10

3秒前; Owen上传了应助文件

4秒前; kkkk关闭了kkkk的文献求助

4秒前; 壮观静柏完成签到，获得积分10

4秒前; 何洋发布了新的文献求助10

4秒前; Ryan发布了新的文献求助10

4秒前; babyapple发布了新的文献求助10

4秒前; 大个的应助被倪妮采纳，获得10

5秒前; 乐乐上传了应助文件

5秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

5秒前; 英姑上传了应助文件

5秒前; 汉堡包上传了应助文件

5秒前; 蓝天上传了应助文件

5秒前; LL发布了新的文献求助10

6秒前; 忧心的曼凝上传了应助文件

7秒前; 清见的心完成签到，获得积分10

8秒前; Y柒完成签到，获得积分10

8秒前; 上官若男的应助被JIMIN采纳，获得30

8秒前; Lisisi的应助被zxh采纳，获得10

8秒前; 勤劳元枫发布了新的文献求助10

9秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

9秒前; Orange的应助被carbonhan采纳，获得10

9秒前; AM发布了新的文献求助10

9秒前; aaaa的应助被研友_kngjrL采纳，获得30

10秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

10秒前; lagom发布了新的文献求助10

10秒前; Ava上传了应助文件

10秒前; 今后上传了应助文件

10秒前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

11秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Aspects of Post-SPE Phonology 2000; Performance standards for antimicrobial disk and dilution susceptibility tests for bacteria isolated from animals 888; Rosenblum, Global Change Biology 800; Holistic Discourse Analysis, Second Edition by Robert E. Longacre (2012-09-10) 666; Final Report for the 2-D Test of Model 901 Rotor and Wing Airfoils (BSWT 592) 528; Berberine regulates the TLR4 signaling pathway to suppress hypoxia-induced proliferation and migration of pulmonary arterial smooth muscle cells 520

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 7877785; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9392734; 关于积分的说明 20795367; 捐赠科研通 7479922; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3353664; 关于科研通互助平台的介绍 2493601; 邀请新用户注册赠送积分活动 2380458

今日热心研友

我能私信骂你吗

学术文献互助

整齐的孤菱

苏丹的论文

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通