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Ceramic Coatings Prepared by Plasma Spraying for Semiconductor Production Equipment
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材料科学 溅射 陶瓷 灰化 薄脆饼 等离子体 耐久性 蚀刻（微加工） 半导体 冶金 等离子清洗 复合材料 薄膜 光电子学 纳米技术 图层（电子） 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.itsc2006p0557
DOI
10.31399/asm.cp.itsc2006p0557 doi
其它 期刊：Thermal spray
作者：N. Kato; H. Mizuno; H. Ibe; J. Kitamura
出版日期：2006-05-15
求助人
生动的仙人掌 在 2026-09-27 08:38:56 发布自河南，悬赏 10 积分
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