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Role of H 3 + ions in deposition of silicon thin films from SiH 4 /H 2 discharges: modeling and experiments
网址
http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac0da2
DOI
10.1088/1361-6595/ac0da2 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Tinghui Zhang; Jean-Maxime Orlac’h; Monalisa Ghosh; Vincent Giovangigli; Pere Roca i Cabarrocas; et al
出版日期：2021-07-01
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