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  Reactive Ion Etching of X-Cut LiNbO3 in an ICP/TCP System for the Fabrication of an Optical Ridge Waveguide 相关领域
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期刊：Applied Sciences 作者：Andrei Kozlov; Dmitrii Moskalev; Uliana Salgaeva; Anna Bulatova; Victor Krishtop; et al 出版日期：2023-02-06 |
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