| 标题 |
 An Experimental and Computational Study on the Synergistic Effect of AEO-9/ADBS Composite Surfactant in Silicon CMP Slurry 相关领域
材料科学
肺表面活性物质
泥浆
吸附
润湿
薄脆饼
腐蚀
化学工程
化学机械平面化
表面粗糙度
复合数
硅
复合材料
分子
表面能
表面光洁度
中心组合设计
朗缪尔吸附模型
抛光
朗缪尔
纳米技术
分子动力学
工作（物理）
水溶液
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期刊：Silicon 作者：Yi Xing; Weili Liu; Zhitang Song 出版日期：2025-11-23 |
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(2025-6-4)
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